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用触摸开关对单片机的一个延时计数器置数，用延时计数器的延时时间控制可控硅的导通角，达到无级调速的目的。
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本文用共聚焦显微镜测试氮化硅薄膜悬梁悬起的高度，确定出最适合接触式射频MEMS开关中使用的氮化硅生长工艺条件。
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铜及铜合金由于其优良的导电导热性广泛应用于电子封装材料、硅芯片衬底、.电接触器触头支撑体和触头材料、触头开关、电焊用电极材料等领域。
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New Type of Optical Fiber Controllable Silicon loaded Millimeter Waveguide Switch
一种光纤一体化光控毫米波波导功率开关
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关键词: 调制,对比, 矽微加工, 法布里 - 珀罗, 光开关, 调制器.
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